SEMI OpenIR
当前检索式 ((ALL:Deposition Process))
限定条件 ((收录类别:SCI) AND (出处:JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS) AND (发表日期:2008) AND (专题:中国科学院半导体研究所(2009年前)))
共7条,第1-7条
江德生 1 陈平 1 朱建军 1
卢国军 1 王玉田 1 张书明 1
赵德刚 1