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共35条，第1-20条
国家自然科学基金 7 国家863计划,国家973计划 2 国家自然科学基金资助项目 2
国家高技术研究发展计划资助项目 2 973课题,集成光电子学国家重点实验室自 1 973项目,国家自然科学基金 1
China Academy of Eng 1 Manuscript received 1 Ministry of Science 1
National Basic Resea 1 National Natural Sci 1 National Nature Scie 1
Open Foundation of K 1 This work was suppor 1 中国科学院知识创新工程重要方向项目 1
中国科学院科研装备研制项目,国家863计 1 国家"863"资助项目,国家科技支撑计划 1 国家自然科学基金(6 51 173,6 1
国家自然科学基金(6 51 173,6 1 国家自然科学基金(批准号:6 678 4 1