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MICROMACHINES 6 JOURNAL OF MICROMECH 2 ACTA PHYSICA SINICA 1
AIP ADVANCES 1 ANALYTICAL METHODS 1 APPLIED OPTICS 1
IEEE TRANSACTIONS ON 1 INTERNATIONAL JOURNA 1 JOURNAL OF MATERIALS 1
JOURNAL OF MICROELEC 1 NANOSCALE RESEARCH L 1 SENSORS 1
SENSORS AND ACTUATOR 1