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中国科学院半导体研究所 28 集成光电子学国家重点实验室 10 纳米光电子实验室 9
中科院半导体材料科学重点实验室 6 中国科学院半导体研究所（2009年前） 1 半导体集成技术工程研究中心 1
全固态光源实验室 1