Realization of SOI submicrometer optical waveguide components - art. no. 68380L
Xu XJ; Chen SW; Yu JZ; Tu XG; Xu, XJ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Optoelect, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China.
2008
会议名称2nd Conference on Optoelectronic Devices and Integration
会议录名称OPTOELECTRONIC DEVICES AND INTEGRATION II
页码6838: L8380-L8380
会议日期NOV 12-15, 2007
会议地点Beijing, PEOPLES R CHINA
出版地1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA
出版者SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
ISSN0277-786X
ISBN978-0-8194-7013-3
部门归属[xu, xuejun; chen, shaowu; yu, jinzhong; tu, xiaoguang] chinese acad sci, inst semicond, state key lab optoelect, beijing 100083, peoples r china
摘要Submicrometer channel and rib waveguides based on SOI (Silicon-On-Insulator) have been designed and fabricated with electron-beam lithography and inductively coupled plasma dry etching. Propagation loss of 8.39dB/mm was measured using the cut-back method. Based on these so-called nanowire waveguides, we have also demonstrated some functional components with small dimensions, including sharp 90 degrees bends with radius of a few micrometers, T-branches, directional couplers and multimode interferometer couplers.
关键词Silicon-on-insulator
学科领域光电子学
主办者SPIE.; Chinese Opt Soc.
收录类别其他
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/7798
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
通讯作者Xu, XJ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Optoelect, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China.
推荐引用方式
GB/T 7714
Xu XJ,Chen SW,Yu JZ,et al. Realization of SOI submicrometer optical waveguide components - art. no. 68380L[C]. 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA:SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING,2008:6838: L8380-L8380.
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