硅基SOI光波导耦合器与光开关的研究
魏红振
学位类型博士
导师余金中
2001
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域微电子学和固态电子学
语种中文
公开日期2009-04-13 ; 2009-07-09
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5073
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
魏红振. 硅基SOI光波导耦合器与光开关的研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2001.
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