共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统
朱汇; 郑厚植; 谭平恒; 章昊; 甘华东; 孙晓明; 李桂荣
2008-06-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-12-21
语种中文
申请号CN200610165535.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4157
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
朱汇,郑厚植,谭平恒,等. 共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统[P]. 2008-06-25.
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