基于膜片挠度的光纤压强传感器
张文涛; 李芳; 刘育梁
2008-06-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-12-21
语种中文
申请号CN200610165533.0
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4153
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张文涛,李芳,刘育梁. 基于膜片挠度的光纤压强传感器[P]. 2008-06-25.
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