具有金属铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底
杨少延; 陈涌海; 李成明; 范海波; 王占国
2007-08-15
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-02-09
语种中文
申请号200610003529
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3941
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨少延,陈涌海,李成明,等. 具有金属铪薄中间层的SOI型复合可协变层衬底[P]. 2007-08-15.
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