用于制备有机/无机薄膜的有机分子束沉积设备
曹国华; 秦大山; 李建平; 曹峻松; 曾一平
2007-11-21
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-05-19
语种中文
申请号200610080612
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3777
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
曹国华,秦大山,李建平,等. 用于制备有机/无机薄膜的有机分子束沉积设备[P]. 2007-11-21.
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