一种晶锭与热解氮化硼坩埚脱离方法及设备
高永亮; 惠峰; 王文军
2007-01-03
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2005-06-30
语种中文
申请号200510012053
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3651
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
高永亮,惠峰,王文军. 一种晶锭与热解氮化硼坩埚脱离方法及设备[P]. 2007-01-03.
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