平板式电极结构
刁宏伟; 廖显伯; 曾湘波; 郝会颖; 徐艳月; 张世斌; 胡志华
2006-02-15
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期2004-12-23
语种中文
申请号CN200420009993.0
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3321
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
刁宏伟,廖显伯,曾湘波,等. 平板式电极结构[P]. 2006-02-15.
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