低能氧离子束辅助脉冲激光沉积氧化物薄膜的方法
杨少延; 刘志凯; 柴春林; 陈诺夫; 王占国
2005-11-16
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-05-14
语种中文
申请号CN200410044605.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3111
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨少延,刘志凯,柴春林,等. 低能氧离子束辅助脉冲激光沉积氧化物薄膜的方法[P]. 2005-11-16.
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