SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备
宋培帅
学位类型博士
2021-06
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2021-06
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30313
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
宋培帅. 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2021.
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2021100公开-博士-集成中心-宋培(4880KB)学位论文 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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