水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究
胡君
学位类型硕士
2019-06
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29339
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
胡君. 水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2019.
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