硅基高量子效率共振腔增强型探测器及制作方法
毛容伟; 滕学公; 李传波; 左玉华; 罗丽萍; 成步文; 于金中; 王启明
2005-06-08
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2003-12-01
语种中文
申请号CN200310118097.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2781
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
毛容伟,滕学公,李传波,等. 硅基高量子效率共振腔增强型探测器及制作方法[P]. 2005-06-08.
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