SEMI OpenIR  > 全固态光源实验室
一种采用双模式激光靶部击穿方式下的点火装置及方法
于海娟; 林学春; 高文焱; 张志研; 张玲; 邹淑珍; 王奕博; 陈寒
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-09-12
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2015-08-24
申请号CN201510520760.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27442
专题全固态光源实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
于海娟,林学春,高文焱,等. 一种采用双模式激光靶部击穿方式下的点火装置及方法.
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