SEMI OpenIR  > 光电子研究发展中心
SOI波导集成InGaAs/InP光电探测器的研究与制备
尹冬冬
学位类型硕士
导师杨晓红
2016-05-30
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域半导体器件
公开日期2016-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27136
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
尹冬冬. SOI波导集成InGaAs/InP光电探测器的研究与制备[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016.
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