GaSb单晶衬底表面形貌及残留缺陷研究
程雨
学位类型硕士
导师赵有文
2015-05-27
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业材料工程
关键词锑化镓(gasb) 化学机械抛光 二次离子质谱(sims) Xps 表面形貌
学科领域半导体材料
公开日期2015-05-29
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26501
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
程雨. GaSb单晶衬底表面形貌及残留缺陷研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
程雨-硕士毕业论文 定稿.pdf(4151KB) 限制开放使用许可请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[程雨]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[程雨]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[程雨]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。