利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法
杨少延; 冯玉霞; 魏鸿源; 焦春美; 赵桂娟; 汪连山; 刘祥林; 王占国
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-03-12
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2013-12-05
申请号CN201310652125.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25469
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
杨少延,冯玉霞,魏鸿源,等. 利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法.
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利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管(1180KB) 限制开放使用许可请求全文
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