| 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法 | |
| 王春霞; 王真真; 阚强; 陈弘达 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-10-17 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 光电子学 |
| 申请日期 | 2012-06-27 |
| 申请号 | CN201210218494.1 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25294 |
| 专题 | 光电子研究发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王春霞,王真真,阚强,等. 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其制造方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 介质光栅结构单波长反射光吸收传感芯片及其（404KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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