SEMI OpenIR  > 半导体超晶格国家重点实验室
制备微透镜阵列的方法
査国伟; 喻颖; 李密峰; 王莉娟; 倪海桥; 贺正宏; 牛智川
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-03-13 ; 2013-03-13
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体物理
申请日期2012-11-30
申请号CN201210505204.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25186
专题半导体超晶格国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
査国伟,喻颖,李密峰,等. 制备微透镜阵列的方法.
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