SEMI OpenIR  > 全固态光源实验室
基于CCD视觉的激光头高度调节装置及调节方法
赵伟芳; 林学春; 于海娟; 李晋闽
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-03-13 ; 2013-03-13
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2012-11-12
申请号CN201210449521.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25160
专题全固态光源实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
赵伟芳,林学春,于海娟,等. 基于CCD视觉的激光头高度调节装置及调节方法.
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