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氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法; 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法
郭恩卿; 伊晓燕; 汪炼成; 孙波; 王国宏
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
授权国家中国
专利类型发明
摘要 一种氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一氮化镓LED外延片,该外延片由衬底,N型氮化镓,多量子阱,铝镓氮EBL和P型氮化镓组成;步骤2:将该氮化镓LED外延片隔离成多个重复单元,每个单元就是一个独立的LED芯片;步骤3:对每个单元上表面的选定区域进行表面处理,使P型氮化镓的表层的中心区域形成电流阻挡层;步骤4:在每个单元上表面制作P电极,该P电极覆盖整个电流阻挡层及P型氮化镓,完成氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作。
部门归属中科院半导体照明研发中心
专利号CN102214743A
语种中文
专利状态公开
申请号 CN201110152904.2
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23510
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
郭恩卿,伊晓燕,汪炼成,等. 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法, 氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法. CN102214743A.
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氮化镓基发光二极管电流阻挡层的制作方法.(298KB) 限制开放使用许可请求全文
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