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用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法; 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法
陈熙; 樊中朝; 李宁; 宋国锋; 陈良惠
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
授权国家中国
专利类型发明
摘要 一种用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法,包括以下步骤:步骤1:取一太阳能电池所用的外延片,对外延片进行清洗;步骤2:在外延片上旋涂光刻胶;步骤3:对光刻胶进行前烘,形成样品;步骤4:采用双光束干涉曝光设备,对样品两次曝光、显影,形成二维周期光刻胶掩膜图形;步骤5:对显影后的样品进行后烘;步骤6:对样品进行干法刻蚀;步骤7:去除光刻胶掩膜图形,完成蛾眼结构的制备。
部门归属纳米光电子实验室
专利号CN102097535A
语种中文
专利状态公开
申请号 CN201010573806.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23465
专题纳米光电子实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
陈熙,樊中朝,李宁,等. 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法, 用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方法. CN102097535A.
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用于太阳电池表面抗反射的蛾眼结构的制备方(585KB) 限制开放使用许可请求全文
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