SEMI OpenIR  > 纳米光电子实验室
基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统
宋国峰; 胡海峰; 徐云; 陈良惠
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2011-08-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要一种基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统,包括:一近场激发样品台,该近场激发样品台包括一悬臂,该近场激发样品台用于放置样品;一半导体微小孔激光器,该半导体微小孔激光器安装于近场激发样品台的悬臂上;一探测器,该探测器位于样品台的下方,与半导体微小孔激光器相对;一信号处理器,该信号处理器的输入端与探测器的输出端连接,用于收集处理探测器的数据;一Z轴控制装置,该Z轴控制装置通过信号处理器控制近场激发样品台的Z轴移动,以便控制半导体微小孔激光器与近场激发样品台的距离;一X-Y扫描装置,该X-Y扫描装置通过信号处理器控制半导体微小孔激光器对近场激发样品台上的样品进行扫描。
部门归属纳米光电子实验室
专利号CN201010191175.7
语种中文
专利状态公开
申请号CN201010191175.7
专利代理人汤保平
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22433
专题纳米光电子实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
宋国峰,胡海峰,徐云,等. 基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统. CN201010191175.7.
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN201010191175.7.pdf(350KB) 限制开放--请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[宋国峰]的文章
[胡海峰]的文章
[徐云]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[宋国峰]的文章
[胡海峰]的文章
[徐云]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[宋国峰]的文章
[胡海峰]的文章
[徐云]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。