| 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器 |
| 满江伟 ; 陈伟; 张红广; 韩威; 孙可; 谢亮; 祝宁华
|
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所
|
| 公开日期 | 2011-08-30
|
| 授权国家 | 中国
|
| 专利类型 | 发明
|
| 摘要 | 一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感，包括：一激光器；一Y型波导，该Y型波导的一端为入射波导，入射波导的一端有一第一正锥，该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接；该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导；该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥；该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥；一第一功率计，该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接；一马赫-曾德尔波导结构，该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间；一第二功率计，该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。 |
| 部门归属 | 集成光电子学国家重点实验室
|
| 专利号 | CN201010117754.7
|
| 语种 | 中文
|
| 专利状态 | 公开
|
| 申请号 | CN201010117754.7
|
| 专利代理人 | 汤保平
|
| 文献类型 | 专利
|
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21961
|
| 专题 | 集成光电子学国家重点实验室
|
推荐引用方式
GB/T 7714 |
满江伟,陈伟,张红广,等. 基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器. CN201010117754.7.
|
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论