SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
相变随机存储器关键工艺研究
程凯芳
学位类型硕士
导师王晓东 ; 王晓峰
2011
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
学科领域微电子学
公开日期2011-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/20725
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
程凯芳. 相变随机存储器关键工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2011.
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