SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器
黄辉; 王兴妍; 王琦; 黄永清; 任晓敏; 高俊华; 张胜利; 刘宇; 祝宁华; 马骁宇; 杨晓红; 吴荣汉
2004
Source Publication半导体学报
Volume25Issue:2Pages:170-173
Abstract报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于InP/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引人RCE光电探测器.制备的器件在波长1.510μm处获得了约59%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50μm * 50μm.
metadata_83北京邮电大学光通信中心;中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Funding Organization国家高技术研究发展计划(编号:2 2AA31229Z),国家自然科学基金(批准号:9 2 1 35)资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:1359144
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/17615
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
黄辉,王兴妍,王琦,等. 基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器[J]. 半导体学报,2004,25(2):170-173.
APA 黄辉.,王兴妍.,王琦.,黄永清.,任晓敏.,...&吴荣汉.(2004).基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器.半导体学报,25(2),170-173.
MLA 黄辉,et al."基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器".半导体学报 25.2(2004):170-173.
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