SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器
侯识华; 孙捷; 毛容伟; 吴旭明; 马骁宇; 谭满清; 陈良惠
2006
Source Publication半导体光电
Volume27Issue:5Pages:543-546
Abstract采用表面微机械技术制作了一种1310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器.该滤波器的通光孔直径约为70 μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm.并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响.
metadata_83中国科学院半导体研究所
Subject Area半导体器件
Funding Organization国家高技术研究发展计划资助项目
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:2557395
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16493
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
侯识华,孙捷,毛容伟,等. 基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J]. 半导体光电,2006,27(5):543-546.
APA 侯识华.,孙捷.,毛容伟.,吴旭明.,马骁宇.,...&陈良惠.(2006).基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器.半导体光电,27(5),543-546.
MLA 侯识华,et al."基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器".半导体光电 27.5(2006):543-546.
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