SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)
硅基波导光开关及开关阵列的研究进展
陈媛媛; 吴静珠; 余金中
2008
Source Publication激光与红外
Volume38Issue:11Pages:1073-1076
Abstract光开关是光网络中实现光交换的核心器件。硅基波导光开关作为一类重要的开关器件,具有体积小、开关速度快、兼容性好等优点。近年来随着硅基波导制作技术的成熟,硅基波导光开关及开关阵列的研究日益受到人们的重视。文章介绍了SOI(silicon—on—insulater)光波导、聚合物光波导和SiO_2光波导等三类常见的硅基波导在光开关及开关阵列方面的一些研究进展。
metadata_83北京工商大学信息工程学院;中国科学院半导体研究所
Subject Area光电子学
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:3421989
Date Available2010-11-23
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15915
Collection中国科学院半导体研究所(2009年前)
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GB/T 7714
陈媛媛,吴静珠,余金中. 硅基波导光开关及开关阵列的研究进展[J]. 激光与红外,2008,38(11):1073-1076.
APA 陈媛媛,吴静珠,&余金中.(2008).硅基波导光开关及开关阵列的研究进展.激光与红外,38(11),1073-1076.
MLA 陈媛媛,et al."硅基波导光开关及开关阵列的研究进展".激光与红外 38.11(2008):1073-1076.
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