学科主题半导体化学
电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控
闻瑞梅; 李希云; 王铁龄; 王桂英
获奖类别国家科技进步奖
获奖等级三等奖
1991
关键词电子级气体
语种中文
文献类型成果
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11002
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
闻瑞梅,李希云,王铁龄,等. 电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控. 1991.
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